Downstream Mikrowellen-Plasmaquellen

Diese Oberflächenwellen-Plasmaquelle erzeugt Plasma in einer Röhre aus dielektrischem Material, die sich in einem Standard-Wellenleiter WR340 befindet. Diese Plasmaquelle ermöglicht die Zündung und Aufrechterhaltung langer Plasmasäulen in Abhängigkeit vom Druck, der Mikrowellenleistung und der Gasbeschaffenheit.

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Große Bandbreite an Anwendungen

Die Downstream Plasmaquelle WR340 ist für den Einsatz in Forschungs- und Entwicklungslaboratorien sowie in der Industrie für ein sehr breites Spektrum von Anwendungen konzipiert.

 

Typische Anwendungen einer solchen Quelle sind die Erzeugung von Radikalen, Oberflächenaktivierung, PECVD (dielektrische Materialien, Diamant...), Gasentfernung, Entgasung, Sterilisation, Ätzen...

Vergasung per Plasma

Die Vergasung ermöglicht die Umwandlung von organischen kohlenstoffhaltigen Materialien, fossilen Brennstoffen und Biomasse in Synthesegas wie CO,H2 undCO2. Die Verbrennung von Syngas, das aus Biomasse gewonnen wird, gilt als Quelle für erneuerbare Energie.

 

Sowohl die Gasabscheidung als auch die Vergasung erfordern hohe Temperaturen, die dank des Mikrowellenplasmas erreicht werden können.

Bis zu 10 kW

Die Plasmaquelle Downstream ist ideal für den Einsatz bei Drücken von 10-1 mbar bis hin zu Atmosphärendruck mit dielektrischen Rohrdurchmessern zwischen 30 und 50 mm. Bei Atmosphärendruck sind ein Vortex-Injektionssystem und ein Plasmazündsystem vorhanden.

 

Die Plasmaquelle kann mit 10 kW bei 2450 MHz ohne zeitliche Begrenzung betrieben werden.

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