표면 파파 마이크로파 플라즈마 소스

작동 방식

플라즈마는 소스 내부에 배치 된 유전체 튜브에서 만들어집니다. 전자레인지 전기장은 유전체/플라즈마 인터페이스에서 세로로 전파됩니다(플라즈마는 전기 도체로 작동). 파도를 방아감하고 피부 깊이에 강하게 감쇠됩니다.

이 원리를 통해 작동 압력, 전자레인지 전력 및 가스 특성에 따라 길이가 있는 플라즈마 컬럼을 만들고 유지할 수 있습니다.

응용 프로그램

우리의 표면 파 마이크로파 플라즈마 토치는 특히 다음과 같은 연구 응용 프로그램에 적응된다 :

• 살균, 소독, 세균성 불활성화, 세균 접착력 감소
• 만성 상처와 감염된 피부의 치료 ...
• 원자층 증착
• 캡슐화/고장 분석: Ar/O2/CF4 플라즈마
• 표면 활성화
• 분석 화학