Botsende microgolf-plasmabronnen

Voor de behandeling van grote oppervlakken zijn uniforme plasmaprocessen over grote afmetingen, waarbij meestal een sterke ionische ondersteuning nodig is, van essentieel belang.

Vraag het onze Expert

Stuur een bericht

Hoofdprincipe

Gewoonlijk worden uniforme plasma's over grote afmetingen verwerkt, waarbij meestal sterke ionische ondersteuning nodig is. Zij zijn essentieel voor oppervlaktebehandelingen op industriële schaal die steeds hogere ets- of afzettingssnelheden vereisen, zoals plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of diep etsen.

 

Deze eisen hebben de ontwikkeling gestimuleerd van uniforme plasmabronnen, met een hoge dichtheid, die bovendien in staat zijn hoge concentraties van reactieve species af te geven.

Waarom onze plasmabronnengebruiken ?

Bovendien is het, om een groot plasmavolume te creëren door de kritische dichtheid te overwinnen die de voortplanting van golven beperkt, noodzakelijk de plasmabronnen verstandig te verdelen. Dit voegt een sterke beperking toe aan de beheersing van het vermogen dat aan elke bron wordt doorgegeven.

 

Om deze beperkingen te overwinnen, hebben wij twee innovatieve zelf-matching plasmabronnen ontwikkeld die werken met 2,45 GHz solid-state generatoren de Hi-Wave. Het innovatieve ontwerp van onze bron, in combinatie met onze solid-state generatoren (gepatenteerd auto-tune algoritme) voorkomt vermogensverlies in de bron en maakt zelf-matching over een groot bereik van bedrijfsomstandigheden mogelijk zonder noodzaak van een impedantie matching systeem.

Hi-Wave botsende plasmabron

Hi-Wave is een microgolfplasmabron van het botsende type en kan werken bij 10 -2 tot 1 mbar (1 Pa tot 100 Pa). Zij is dus bedoeld om zonder magneten in het collisionele regime te werken.

 

Plasmadichtheden groter dan 10 12 cm -3 kunnen worden bereikt in een configuratie met meerdere bronnen met een werkafstand van 10 cm, voor de meeste gassen.

Contacteer ons

Ontdek onze uitrustingen

  • HI-WAVE

    Botsende plasmabron.

    Download

  • 4xMMS

    4 x 450W microgolfgenerator voor plasmabronnen.

x