保罗BODART
+33 (0)4 72 01 81 60Downstream微波等离子体源
这种表面波类型的等离子体源在置于标准WR340波导中的介质材料管中产生等离子体。这种等离子体源能够根据压力、微波功率和气体性质点燃并维持长的等离子体柱。
大范围的应用
Downstream 等离子体源WR340被设计用于研发实验室和工业领域，应用范围非常广泛。
这种源的典型应用是创造自由基、表面活化、PECVD（电介质材料、钻石......）、气体消减、凝固、消毒、蚀刻......。
每个等离子体的气化
气化可以将有机碳质材料、化石燃料和生物质转化为CO、H2和CO2等合成气。从生物质中获得的合成气的燃烧被认为是一种可再生能源。
气体减排和气化都需要高温，而微波等离子体可以实现这一点。
高达10千瓦
Downstream 等离子体源非常适合在压力从10-1mbar到大气压的情况下工作，电介质管的直径在30到50毫米之间。在大气压下，提供一个涡流喷射系统和一个等离子体点火系统。
等离子体源可以在2450兆赫下以10千瓦的速度运行，没有时间限制。
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DOWNSTREAM
2450MHz的表面波等离子体源。最高可达10千瓦
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