Fuentes de plasma de microondas ECR

Principio principal

Por lo general, el plasma uniforme se procesa en grandes dimensiones y, con mayor frecuencia, requiere una fuerte asistencia iónica. Son esenciales para los tratamientos superficiales a escala industrial que requieren tasas de grabado o deposición cada vez más altas, como la deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD) o el grabado profundo.

Estos requisitos han estimulado el desarrollo de fuentes de plasma uniformes, de alta densidad, que, además, son capaces de entregar altas concentraciones de especies reactivas.

Miniaturización gracias a la tecnología de estado sólido

La tecnología estándar utiliza un sistema de distribución de energía (magnetrón, guías de onda, sintonizador, cortocircuito) para suministrar energía de microondas a todas las fuentes desde un solo generador de microondas. Sin embargo, la potencia de microondas debe distribuirse equitativamente entre las fuentes y el uso de un dispositivo de impedancia correspondiente es obligatorio.

Para superar este problema, hemos desarrollado una nueva fuente de plasma de microondas coaxial ECR, el Aura-Wave. El diseño innovador de la fuente evita la pérdida de energía dentro de la fuente y permite que sea bastante auto-emparejado en condiciones de operación amplias sin necesidad de ningún sistema de coincidencia de impedancia.

Aura-Wave Fuente de plasma ECR

Aura-Wave es una fuente de plasma coaxial de microondas de resonancia electrónica de ciclotrón (ECR) que puede mantener plasmas estables de 10 ^-4 a 10 ^-2 mbar (0.1 Pa a 10 Pa). Los imanes cilíndricos permanentes se encapsulan y montan en oposición dentro de la estructura coaxial, lo que permite la generación de un campo magnético hacia la cámara de plasma para limitar las pérdidas en las paredes.

La fuente permite alcanzar densidades de plasma de 10 11 cm ^-3 en configuración de múltiples fuentes con una distancia de trabajo de 10 cm, para la mayoría de los gases.

Encuentra nuestro último reaserch en nuestro Aura-Wave Ecr fuentes de plasma de microondas aquí !