Nuestra tecnología de microondas para la generación de plasma

La tecnología de microondas está continuamente encontrando aplicaciones en nuevos campos. La generación de plasma es una de ellas, debido a las muchas ventajas de las microondas: densidad plasmática, iones y especies activas, sin electrodos, operación de rango de presión.

Potencial ilimitado

El excelente potencial de los plasmas generados por microondas tiene aplicaciones en campos de alta tecnología como la electrónica, las joyas, la ingeniería médica y las industrias automotriz, óptica y de células solares.

 

Para cumplir con las especificaciones cada vez más exigentes requeridas por estas sofisticadas tecnologías, SAIREM ha desarrollado su propia gama de fuentes de plasma y reactores. Estas fuentes se utilizan en la generación de diamantes,ALD, activación de la superficie DLC, esterilización, síntesis de nanomateriales, reducción de gas, ...

Generadores intransigentes

La arquitectura de nuestros generadores de microondas de última generación es 100% digital. Han sido especialmente desarrollados para soportar ciclos de carreras de semanas de duración y para ofrecer un espectro estable y estrecho, para adaptarse perfectamente a sus aplicaciones industriales o de I+D.

Fuentes de plasma innovadoras

Las fuentes plasmáticas de microondas son bien conocidas por su rendimiento en términos de crear altas densidades de especies reactivas, pero a menudo se han considerado una segunda opción dada la dificultad de implementarlas en procesos industriales. Estas fuentes a menudo requieren un sistema de adaptación de impedancia que es difícil de automatizar.

 

Para superar estas limitaciones, hemos desarrollado dos innovadoras fuentes de plasma de microondas autoapartidas que funcionan con generadores de estado sólidode 2,45 GHz: Aura-Wave y Hi-Wave. Además, estas fuentes se pueden organizar en matriz para generar grandes superficies de plasma.

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