マイクロ波によるプラズマ発生技術

無限の可能性

マイクロ波で生成されたプラズマの優れた可能性は、エレクトロニクス、宝石、医療工学、自動車、光学、太陽電池などのハイテク分野に応用されています。

このような高度な技術に要求されるますます厳しい仕様に対応するために、SAIREMは独自のプラズマソースとリアクターを開発しました。これらのソースは、ダイヤモンド生成、ALD、DLC表面活性化、殺菌、ナノ材料の合成、ガス除去、...などに使用されています。

妥協のない発電機

当社の最新世代のマイクロ波発電機のアーキテクチャは、100％デジタルです。数週間の長期稼働に対応し、安定した狭いスペクトルを実現するために特別に開発されたもので、お客様の産業用または研究開発用アプリケーションに完全に適合します。

革新的なプラズマソース

マイクロ波プラズマ源は、高濃度の反応種を生成する性能を持つことでよく知られているが、工業プロセスへの導入が困難なため、二の足を踏んでいた。このようなプラズマ源は、自動化が難しいインピーダンス適応システムを必要とすることが多い。

これらの制約を克服するために、私たちは2,45GHzのソリッドステートジェネレーターを用いた2つの革新的な自己整合型マイクロ波プラズマソースを開発しました。Aura-Wave とHi-Wave です。さらに、これらのプラズマ源をマトリクス状に配置することで、大きなプラズマ面を生成することができます。