Notre technologie à micro-ondes pour la génération de plasma

La technologie des micro-ondes trouve continuellement des applications dans de nouveaux domaines. La génération de plasma en est une, en raison des nombreux avantages des micro-ondes : densité du plasma, ions et espèces actives, fonctionnement sans électrode, plage de pression.

Un potentiel illimité

L'excellent potentiel des plasmas générés par micro-ondes a des applications dans des domaines de haute technologie tels que l'électronique, la joaillerie, l'ingénierie médicale et les industries automobile, optique et des cellules solaires.

 

Pour répondre aux spécifications de plus en plus exigeantes que requièrent ces technologies sophistiquées, SAIREM a développé sa propre gamme de sources et de réacteurs à plasma. Ces sources sont utilisées pour la génération de diamant, l'activation de surface ALD, DLC, la stérilisation, la synthèse de nano-matériaux, l'abattement des gaz, ...

Des générateurs sans compromis

L'architecture de nos générateurs de micro-ondes de dernière génération est 100 % numérique. Ils ont été spécialement développés pour supporter des cycles de fonctionnement de plusieurs semaines et pour fournir un spectre stable et étroit, afin de s'adapter parfaitement à vos applications industrielles ou de R&D.

Des sources de plasma innovantes

Les sources de plasma micro-ondes sont bien connues pour leurs performances en termes de création de fortes densités d'espèces réactives, mais ont souvent été considérées comme un second choix étant donné la difficulté de les mettre en œuvre dans les processus industriels. Ces sources nécessitent souvent un système d'adaptation d'impédance difficile à automatiser.

 

Pour surmonter ces contraintes, nous avons mis au point deux sources innovantes de plasma micro-ondes auto-adaptables fonctionnant avec des générateurs à semi-conducteurs de 2,45 GHz : Aura-Wave et Hi-Wave. De plus, ces sources peuvent être disposées en matrice pour générer de grandes surfaces de plasma.

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