Configuraciones de múltiples fuentes para superficies de plasma ilimitadas
Con Aura-wave y Hi-wave Fuentes de plasma, los usuarios pueden crear infinitas posibilidades de combinación: arreglos en línea, circulares, matriciales o 3D. Esto permite desarrollar procesos con alta densidad de plasma y excelente uniformidad a gran escala.
Excelente uniformidad de densidad
La tecnología de fuente de plasma de microondas SAIREM permite superficies de plasma prácticamente ilimitadas gracias a las combinaciones de múltiples fuentes. Sus arreglos pueden ser en línea, circulares, en matriz o en 3D dependiendo de su aplicación.
Gracias al perfecto control de potencia proporcionado por cada fuente, nuestra solución ofrece un plasma con una excelente uniformidad de densidad (generalmente menos del 5% de variación).
Encuentre a continuación algunas medidas de uniformidad de Aura-Wave y Hi-Wave fuentes plasmáticas dispuestas en matriz. Póngase en contacto con nosotros para obtener resultados y detalles adicionales.
![](https://cdn.sairem.com/wp-content/uploads/2021/11/SAIREM-Plasma-matrix.png)
Aura-Wave distribución matricial
El gráfico muestra la distribución de densidad simulada y la curva experimental para una configuración de matriz de 25 Aura-Wave con constante de red a=90 mm realizada a 10 cm del plano fuente para un plasma de nitrógeno puro a una presión de 1 Pa.
El efecto de la optimización de la energía se ve claramente. Las fuentes periféricas se suministraron con 400 W/fuente, mientras que las 9 fuentes centrales se suministraron con 75 W/fuente. Se logra un diámetro de uniformidad mayor (370 mm para un 5% de uniformidad). Sin embargo, incluso si la densidad máxima registra una pequeña disminución, todavía tiene un valor muy alto alrededor de 20 × 10 10 cm -3.
![](https://cdn.sairem.com/wp-content/uploads/2021/11/SAIIREM-AW-matrix-distribution.png)
Hi-Wave distribución matricial
El efecto de aumentar el número y la compacidad de las fuentes, es decir, disminuir el parámetro de red, se muestra en la figura de la derecha para un plasma de argón puro a una presión de 2 Pa.
Para una configuración de matriz de 25 Hi-Wave fuentes y a = 90 mm a una distancia d = 14 cm del plano de fuentes, la potencia optimizada es de 400 W para las fuentes periféricas y 220 W para las 9 centrales. Se registra una densidad máxima de alrededor de 2 × 10 12 cm -3 para una superficie uniforme de 400 mm de diámetro.
Contacto con nosotros![](https://cdn.sairem.com/wp-content/uploads/2021/11/SAIIREM-HW-matrix-distribution.png)
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