Configurazioni multi-sorgente per superfici di plasma illimitate
Con Aura-wave e Hi-wave fonti di plasma, gli utenti possono creare infinite possibilità di combinazione: disposizioni in linea, circolari, a matrice o 3D. Questo permette di sviluppare processi con alta densità di plasma ed eccellente uniformità su larga scala.
Eccellente uniformità di densità
La tecnologia delle sorgenti di plasma a microonde SAIREM permette di ottenere superfici di plasma virtualmente illimitate grazie alla combinazione di più sorgenti. La loro disposizione può essere in linea, circolare, a matrice o in 3D a seconda dell'applicazione.
Grazie al perfetto controllo della potenza fornita da ogni sorgente, la nostra soluzione fornisce un plasma con un'eccellente uniformità di densità (di solito meno del 5% di variazione).
Trovate qui sotto alcune misure di uniformità di Aura-Wave e Hi-Wave fonti di plasma disposte in matrice. Contattateci per ottenere ulteriori risultati e dettagli.
Aura-Wave distribuzione a matrice
Il grafico mostra la distribuzione di densità simulata e la curva sperimentale per una configurazione di matrice di 25 Aura-Wave con costante reticolare a=90 mm realizzata a 10 cm dal piano della sorgente per un plasma di azoto puro ad una pressione di 1 Pa.
L'effetto dell'ottimizzazione della potenza è chiaramente visibile. Le fonti periferiche sono state alimentate con 400 W/fonte mentre le 9 fonti centrali sono state alimentate con 75 W/fonte. Si ottiene un diametro di uniformità maggiore (370 mm per un'uniformità del 5%). Tuttavia, anche se la densità massima registra una piccola diminuzione, ha ancora un valore molto alto intorno a 20 × 10 10 cm -3.
Hi-Wave distribuzione a matrice
L'effetto di aumentare il numero e la compattezza delle sorgenti, cioè diminuire il parametro del reticolo, è mostrato nella figura a destra per un plasma di argon puro ad una pressione di 2 Pa.
Per una configurazione a matrice di 25 fonti Hi-Wave e a = 90 mm ad una distanza d = 14 cm dal piano delle fonti, la potenza ottimizzata è di 400 W per le fonti periferiche e 220 W per le 9 centrali. Una densità massima intorno a 2 × 10 12 cm -3 è registrata per una superficie uniforme di 400 mm di diametro.
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