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Configurations multi-sources pour des surfaces plasma illimitées
Avec les sources plasma micro-ondes Sairem, il est possible de créer une infinité de configurations : en ligne, circulaire, matricielle ou 3D.
Cette flexibilité permet de développer des procédés avec une forte densité plasma et une excellente uniformité sur de grandes surfaces.
Une excellente uniformité de densité
La technologie des sources plasma micro-ondes Sairem permet de réaliser des surfaces plasma quasiment illimitées grâce à la combinaison de plusieurs sources.
Leur disposition peut être adaptée à chaque application : en ligne, circulaire, en matrice ou en configuration 3D.
Grâce au contrôle précis de la puissance délivrée par chaque source, nos solutions génèrent un plasma avec une excellente uniformité de densité, généralement avec une variation inférieure à 5 %.
Découvrez ci-dessous quelques mesures d’uniformité obtenues avec des sources plasma Sairem configurées en matrice.
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Distribution matricielle des sources PlasmaVac Sairem
Le graphique présente la distribution de densité simulée ainsi que la courbe expérimentale obtenue pour une configuration matricielle composée de 25 sources PlasmaVac (AuraWave), avec un espacement de 90 mm, mesurée à 10 cm du plan des sources pour un plasma d’azote pur à une pression de 1 Pa.
L’effet de l’optimisation de la puissance est clairement visible.
Les sources périphériques fonctionnent à 400 W/source, tandis que les 9 sources centrales fonctionnent à 75 W/source.
Cette configuration permet d’obtenir un diamètre d’uniformité plus important (370 mm avec une uniformité de 5 %).
Même si la densité maximale diminue légèrement, elle conserve une valeur très élevée d’environ 20 × 10¹⁰ cm⁻³.
Sources plus compactes pour une densité plasma accrue
L’effet de l’augmentation du nombre et de la compacité des sources, c’est-à-dire de la réduction du paramètre de maille, est présenté dans la figure ci-dessous pour un plasma d’argon pur à une pression de 2 Pa.
Pour une configuration matricielle de 25 sources PlasmaVac (Hi-Wave) avec un espacement de 90 mm et une distance de 14 cm par rapport au plan des sources, la puissance optimisée est de 400 W pour les sources périphériques et de 220 W pour les 9 sources centrales.
Une densité maximale d’environ 2 × 10¹² cm⁻³ est obtenue sur une surface uniforme de 400 mm de diamètre.
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