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Procédés plasma avancés pour applications industrielles
Sairem développe des technologies plasma avancées basées sur les micro-ondes et la radio fréquence, dédiées aux procédés industriels haute performance. Nos solutions sont conçues pour garantir un contrôle précis du plasma, une stabilité des procédés et une efficacité énergétique optimale, même dans les applications les plus exigeantes.
Nous accompagnons une large gamme de procédés plasma, notamment la gravure et le dépôt (etching & deposition), le PECVD, le traitement et l’abattement de gaz, la plasmalyse du méthane ainsi que les technologies Power-to-X. Grâce à une génération de plasma homogène et à un contrôle précis des paramètres, nos systèmes permettent d’optimiser les conditions de réaction, d’améliorer les rendements et de faciliter l’intégration à l’échelle industrielle.
Sairem conçoit et fabrique des sources plasma et des générateurs micro-ondes et radio fréquence haute performance, garantissant un couplage énergétique stable, un fonctionnement fiable et des performances industrielles durables.
Grâce à une expertise approfondie en ingénierie plasma, nous proposons des solutions fiables et efficaces pour les applications industrielles de nouvelle génération.
Applications plasma avancées
Découvrez nos procédés plasma alternatifs basés sur les micro-ondes.
Les avantages clés du plasma par micro-ondes
Plasma homogène et stable
Nos technologies génèrent un plasma hautement uniforme, garantissant des conditions de traitement constantes et une excellente répétabilité des procédés.
Haute efficacité d’ionisation
La densité d’ionisation élevée permet d’améliorer la cinétique des réactions, d’optimiser les rendements et d’accroître les performances globales des procédés.
Architecture multi-sources scalable
L’intégration multi-sources permet une distribution large et homogène du plasma, facilitant les procédés sur grandes surfaces et le passage à l’échelle industrielle.
Transfert de puissance efficace
Le couplage direct de l’énergie limite les pertes et garantit une efficacité énergétique élevée ainsi qu’une génération de plasma stable.
Vous souhaitez découvrir nos solutions plasma ?
Nos experts sont à votre disposition pour vous accompagner dans la définition de la solution la plus adaptée.