Oberflächenwellen-Mikrowellenplasmaquellen

Wie es funktioniert

Das Plasma wird in einer dielektrischen Röhre im Inneren der Quelle erzeugt. Das elektrische Mikrowellenfeld breitet sich in Längsrichtung an der Schnittstelle Dielektrikum/Plasma aus (das Plasma verhält sich wie ein elektrischer Leiter). In radialer Richtung wird die Welle in der Hauttiefe stark abgeschwächt.

Dieses Prinzip ermöglicht die Erzeugung und Aufrechterhaltung von Plasmasäulen mit Längen, die vom Betriebsdruck, der Mikrowellenleistung und der Gasbeschaffenheit abhängen.

Anwendungen

Unser Oberflächenwellen-Mikrowellenplasmabrenner ist besonders geeignet für Forschungsanwendungen wie :

• Sterilisation, Desinfektion, Inaktivierung von Bakterien, Verringerung der Bakterienanhaftung
• Behandlung von chronischen Wunden und infizierter Haut ...
• Atomlagenabscheidung
• Entkapselung / Fehleranalyse: Ar/O2/CF4-Plasma
• Aktivierung der Oberfläche
• Analytische Chemie