PE-ALD pour les pièces à faible budget thermique
Notre client avait besoin d'une solution de dépôt par couche atomique pour traiter des pièces tridimensionnelles soumises à des contraintes thermiques. Découvrez comment nous l'avons aidé à passer du procédé ALD au procédé PE-ALD grâce à nos solutions plasma micro-ondes.