Downstream sources de plasma micro-ondes

Cette source de plasma de type onde de surface génère du plasma dans un tube en matériau diélectrique placé dans un guide d'onde standard WR340. Cette source de plasma permet l'allumage et le maintien de longues colonnes de plasma en fonction de la pression, de la puissance des micro-ondes et de la nature du gaz.

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Large éventail d'applications

La source de plasma WR340 de Downstream est conçue pour être utilisée dans les laboratoires de R&D et dans l'industrie pour une très large gamme d'applications.

 

Les applications typiques de cette source sont la création de radicaux, l'activation de surface, la PECVD (matériaux diélectriques, diamant...), la réduction des gaz, la gazéification, la stérilisation, la gravure...

Gazéification par plasma

La gazéification permet la conversion de matières organiques carbonées, de combustibles fossiles et de biomasse en gaz de synthèse tels que le CO, le H2 et le CO2. La combustion du gaz de synthèse obtenu à partir de la biomasse est considérée comme une source d'énergie renouvelable.

 

La réduction des gaz et la gazéification nécessitent toutes deux des températures élevées qui peuvent être obtenues grâce au plasma à micro-ondes.

Jusqu'à 10 kW

La source de plasma Downstream est idéale pour travailler à des pressions allant de 10-1 mbar à la pression atmosphérique avec des diamètres de tube diélectrique compris entre 30 et 50 mm. A la pression atmosphérique, un système d'injection de vortex et un système d'allumage du plasma sont prévus.

 

La source de plasma peut fonctionner à 10 kW à 2450 MHz, sans limitation de temps.

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