表面波 マイクロ波プラズマソース

S-Wave は、10-1mbar から大気圧までの産業および研究室用に設計された、コンパクトなプラズマトーチです。

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ナオワラートセーニャコーン

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その仕組み

誘電体管の中にプラズマが生成されます。マイクロ波電界は、誘電体とプラズマの界面を縦方向に伝搬します（プラズマは導電体として振る舞います）。放射状には、皮膚の深さで波が強く減衰します。

 

この原理により、動作圧力、マイクロ波出力、ガスの性質に応じた長さのプラズマカラムを生成し、維持することができます。

アプリケーション

当社の表面波マイクロ波プラズマトーチは、特に研究用途に適しています。

  • 滅菌、消毒、細菌の不活性化、細菌の付着の低減
  • 慢性的な傷や感染した皮膚の治療 ...
  • アトミックレイヤーデポジション
  • デカプス化／故障解析。Ar/O2/CF4プラズマ
  • 表面活性化
  • 分析化学
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機器の紹介

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