Unsere Mikrowellentechnologie zur Plasmaerzeugung

Die Mikrowellentechnologie findet immer wieder in neuen Bereichen Anwendung. Die Plasmaerzeugung ist eines davon, aufgrund der vielen Vorteile von Mikrowellen: Plasmadichte, Ionen und aktive Spezies, elektrodenloser Betrieb, Druckbereich.

Unbegrenztes Potenzial

Das hervorragende Potenzial von mikrowellenerzeugten Plasmen findet Anwendung in High-Tech-Bereichen wie Elektronik, Schmuck, Medizintechnik sowie in der Automobil-, Optik- und Solarzellenindustrie.

 

Um die immer anspruchsvolleren Spezifikationen zu erfüllen, die von solch anspruchsvollen Technologien verlangt werden, hat SAIREM eine eigene Reihe von Plasmaquellen und Reaktoren entwickelt. Diese Quellen werden bei der Diamanterzeugung, ALD, DLC-Oberflächenaktivierung, Sterilisation, Synthese von Nanomaterialien, Gasminderung, ... eingesetzt.

Kompromisslose Generatoren

Die Architektur unserer Mikrowellengeneratoren der neuesten Generation ist zu 100 % digital. Sie wurden speziell entwickelt, um wochenlange Betriebszyklen zu unterstützen und ein stabiles und schmales Spektrum zu liefern, das perfekt zu Ihren industriellen oder F&E-Anwendungen passt.

Innovative Plasmaquellen

Mikrowellen-Plasmaquellen sind bekannt für ihre Leistung in Bezug auf die Erzeugung hoher Dichten reaktiver Spezies, wurden aber oft als zweite Wahl betrachtet, da sie nur schwer in industrielle Prozesse implementiert werden können. Solche Quellen erfordern oft ein Impedanzanpassungssystem, das schwer zu automatisieren ist.

 

Um diese Einschränkungen zu überwinden, haben wir zwei innovative selbstanpassende Mikrowellen-Plasmaquellen entwickelt, die mit 2, 45-GHz-Festkörpergeneratoren arbeiten: Aura-Wave und Hi-Wave. Außerdem können diese Quellen in einer Matrix angeordnet werden, um große Plasmaflächen zu erzeugen.

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