EvoMicro (GMS, KMS, MMS) – Générateurs micro-ondes semi-conducteurs 2,45 GHz
Des générateurs micro-ondes de précision pour la recherche et les applications industrielles
Les générateurs à semi-conducteurs EvoMicro de Sairem sont conçus pour fournir une puissance micro-ondes extrêmement précise et stable aux applications nécessitant un contrôle avancé, une grande flexibilité et une excellente reproductibilité.
Fonctionnant à 2 450 MHz, ils reposent sur la technologie des semi-conducteurs, permettant un réglage précis de la puissance, de la fréquence et des paramètres de pulsation. Leur architecture entièrement numérique offre un contrôle très fin de l’énergie micro-ondes, ce qui les rend particulièrement adaptés aux procédés de laboratoire, à la génération de plasma et au traitement avancé des matériaux.
Disponibles en 200 W et 450 W, les générateurs EvoMicro répondent parfaitement aux applications de faible à moyenne puissance, aussi bien en R&D qu’en intégration industrielle, grâce à leur faible encombrement et leur grande fiabilité.
Contrôle de haute précision et grande flexibilité
La technologie à semi-conducteurs permet un réglage précis de la puissance (par pas de 1 W), un ajustement de la fréquence (± 50 MHz) ainsi qu’une modulation d’impulsions en option, offrant un contrôle total de l’énergie délivrée au procédé.
Excellente stabilité des procédés
Les algorithmes d’auto-accord intégrés minimisent en permanence la puissance réfléchie afin de garantir un fonctionnement stable, même avec des charges variables ou des matériaux complexes.
Fonctionnement sûr et fiable
Sans haute tension ni magnétron, les générateurs EvoMicro offrent une durée de vie prolongée, une sécurité renforcée et des besoins de maintenance réduits.
Intégration simplifiée
Leur conception compacte en un seul module, associée à une connectivité complète (bus de terrain et compatibilité API/PLC), permet une intégration rapide aussi bien dans les laboratoires que dans les lignes industrielles automatisées.
Présentation technique des générateurs EvoMicro 2,45 GHz
EvoMicro 200 W
Générateur compact et extrêmement flexible destiné aux procédés de précision, offrant une grande souplesse d’utilisation ainsi que des fonctions avancées de fonctionnement en mode pulsé.
Caractéristiques principales
- Puissance réglable : 0 à 200 W
- Plage de fréquence : 2 400 à 2 500 MHz
- Mode pulsé disponible pour un contrôle avancé du procédé
- Temps de réponse ultra-rapide en mode pulsé (< 50 µs)
- Balayage de fréquence et auto-accord pour optimiser le couplage
- Très faible ondulation (< 0,2 %)
- Idéal pour la R&D, les applications plasma et les procédés nécessitant un contrôle très fin
Les deux générateurs EvoMicro partagent les mêmes technologies avancées
- Technologie à semi-conducteurs (sans magnétron ni haute tension)
- Isolateur intégré avec protection automatique contre la puissance réfléchie
- Mesure True RMS de la puissance incidente et réfléchie
- Réglage de fréquence de ± 50 MHz autour de 2 450 MHz
- Fonction de balayage de fréquence pour optimiser les conditions de couplage
- Algorithme d’auto-accord garantissant une stabilité du procédé en temps réel
- Fonctionnement stable dès 1 W
- Architecture compacte en un seul module
- Commande à distance via PROFIBUS®, CANopen et Modbus
EvoMicro 450 W
Solution de puissance supérieure conçue pour un fonctionnement continu et parfaitement stable.
Caractéristiques principales
- Puissance réglable : 0 à 450 W
- Plage de fréquence : 2 400 à 2 500 MHz
- Fonctionnement en onde continue (CW)
- Réglage automatique de la fréquence grâce à l’algorithme d’auto-accord
- Très faible ondulation (< 0,4 %)
- Conception compacte et robuste
- Adapté aux procédés industriels et aux applications avancées de laboratoire
Les deux générateurs EvoMicro partagent les mêmes technologies avancées
- Technologie à semi-conducteurs (sans magnétron ni haute tension)
- Isolateur intégré avec protection automatique contre la puissance réfléchie
- Mesure True RMS de la puissance incidente et réfléchie
- Réglage de fréquence de ± 50 MHz autour de 2 450 MHz
- Fonction de balayage de fréquence pour optimiser les conditions de couplage
- Algorithme d’auto-accord garantissant une stabilité du procédé en temps réel
- Fonctionnement stable dès 1 W
- Architecture compacte en un seul module
- Commande à distance via PROFIBUS®, CANopen et Modbus
Les semi-conducteurs au service des applications de haute précision
Depuis leur conception, nos générateurs à semi-conducteurs 915 MHz et 2,45 GHz ont été développés pour répondre aux exigences des applications les plus précises :
- Dispositifs médicaux nécessitant un signal micro-ondes stable et à spectre étroit
- Systèmes plasma équipés de générateurs à semi-conducteurs et de sources plasma pilotées indépendamment
- Procédés de dépôt et de gravure (PE-ALD, PE-ALE)
- Traitements de surface sensibles sous basse pression (PECVD)
Pourquoi choisir les générateurs micro-ondes Sairem ?
Des technologies brevetées
Nos générateurs à semi-conducteurs intègrent plusieurs technologies brevetées qui les distinguent parmi les plus avancés du marché.
Par exemple, notre algorithme d’auto-accord (brevet WO/2012/146870) ajuste automatiquement la fréquence afin de minimiser la puissance réfléchie.
Une autre innovation majeure est notre technologie de combinaison de puissance (brevet WO/2019/224481), qui nous permet de concevoir les générateurs à semi-conducteurs les plus compacts du marché.
L’expertise Sairem
Contrairement à de nombreux fabricants issus du secteur des télécommunications, spécialisés à l’origine dans les applications micro-ondes de faible puissance, Sairem développe ses générateurs à semi-conducteurs dès leur conception pour répondre aux contraintes industrielles. Cette approche garantit une robustesse, une fiabilité et une durabilité parfaitement adaptées aux environnements de production.
Complétez votre installation micro-ondes !
Vous souhaitez intégrer des générateurs micro-ondes à semi-conducteurs à votre procédé ?
Une gamme complète d’accessoires
Pour compléter votre installation micro-ondes, Sairem propose une gamme complète d’accessoires et de composants : guides d’ondes, accessoires de mesure et accordeurs d’impédance.
Découvrez nos sources plasma
Appuyé par ses experts plasma et ses nombreux partenariats de recherche, Sairem conçoit et qualifie des sources plasma micro-ondes destinées aux applications industrielles et scientifiques.
Disponibles en versions standard ou entièrement personnalisées, elles s’adaptent à vos besoins spécifiques.