PlasmaVac (AuraWave et HiWave), sources plasma micro-ondes basse pression
Des sources plasma micro-ondes innovantes pour les procédés grande surface
Répondre aux exigences d’un plasma uniforme et haute densité sur de grandes surfaces de substrats nécessite de relever un défi fondamental : la limite critique de densité de propagation des ondes. Augmenter simplement la puissance d’une seule source plasma ne suffit pas. Les sources plasma doivent être intelligemment réparties sur toute la surface de traitement.
Cette approche impose une contrainte majeure : le contrôle indépendant de la puissance de chaque source. Les systèmes RF ou micro-ondes traditionnels rencontrent souvent des difficultés à répondre à cette exigence, ce qui entraîne des problèmes connus d’uniformité, notamment sur les bords des substrats.
Une innovation brevetée au service des procédés plasma
Sairem a développé la gamme PlasmaVac de sources plasma micro-ondes auto-adaptatives, alimentées par des générateurs à semi-conducteurs 2,45 GHz intégrant un algorithme breveté d’auto-adaptation.
Cette conception innovante supprime le besoin de systèmes d’adaptation d’impédance, évite les pertes de puissance dans la source et permet une adaptation automatique à une large gamme de conditions de fonctionnement.
Un contrôle précis et une grande flexibilité
La technologie à semi-conducteurs permet un réglage précis de la puissance (par pas de 1 W), un ajustement de fréquence (±50 MHz) ainsi qu’une modulation d’impulsions en option, offrant un contrôle complet de l’énergie délivrée au procédé.
Une stabilité avancée du procédé
Les algorithmes intégrés d’auto-ajustement réduisent en continu la puissance réfléchie, garantissant un fonctionnement stable même avec des charges variables ou des matériaux complexes.
Un fonctionnement sûr et fiable
Sans haute tension et sans magnétron, les générateurs EvoMicro offrent une durée de vie prolongée, une sécurité renforcée et des besoins de maintenance réduits.
Une intégration simplifiée
Grâce à leur conception compacte en module unique et à leur connectivité complète (bus de terrain, compatibilité PLC), les sources PlasmaVac s’intègrent facilement dans des installations de laboratoire comme dans des systèmes industriels automatisés.
Présentation technique de PlasmaVac, source plasma micro-ondes basse pression
PlasmaVac ECR, une source plasma ECR (AuraWave)
La PlasmaVac ECR est une source plasma micro-ondes à résonance cyclotronique électronique (ECR – Electron Cyclotron Resonance) fonctionnant à basse pression.
Elle fournit un plasma haute densité et uniforme avec un contrôle précis et indépendant de la puissance pour chaque source, ce qui la rend idéale pour les applications PE-ALD, PE-ALE et les procédés de gravure fine nécessitant une énergie minimale des ions.
Sa conception coaxiale élimine les pertes internes de puissance : aucune puissance réfléchie, aucun système d’adaptation d’impédance requis, sur une plage de 2 à 3 décades de pression selon le gaz utilisé.
PlasmaVac Coll, une source plasma collisionnelle (HiWave)
La PlasmaVac Coll est une source plasma collisionnelle auto-adaptative fonctionnant sans aimants à des pressions plus élevées.
Elle fonctionne entre 1 et 100 Pa, sans système d’adaptation d’impédance requis sur une décade de pression selon le gaz utilisé.
En configuration multi-sources, elle atteint des densités plasma supérieures à :
- 10¹² cm⁻³ dans l’argon ;
- 10¹¹ cm⁻³ dans les gaz moléculaires tels que O₂, N₂ et H₂, à 10 cm du plan de la source.
Associée aux générateurs à semi-conducteurs Sairem, la puissance transmise au plasma peut être contrôlée watt par watt.
PlasmaVac : un avantage technologique majeur pour les applications plasma basse pression
Là où les sources RF atteignent leurs limites, les sources plasma micro-ondes basse pression PlasmaVac offrent la densité plasma, la concentration en radicaux et l’uniformité de procédé nécessaires aux applications PE-ALD, PE-ALE, PE-CVD et aux procédés de gravure avancés.
Une gamme complète d’accessoires
Pour compléter votre installation micro-ondes, Sairem propose une gamme complète d’accessoires et de composants, notamment :
- guides d’ondes ;
- accessoires de mesure ;
- tuners d’impédance.
Découvrez nos générateurs micro-ondes
Les générateurs à semi-conducteurs 2,45 GHz de Sairem sont parfaitement adaptés aux sources plasma PlasmaVac.
Plusieurs options de puissance sont disponibles.
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