Sources de plasma micro-ondes collisionelles

Les procédés plasma uniformes sur de grandes dimensions, et nécessitant le plus souvent une forte assistance ionique, sont essentiels pour le traitement des grandes surfaces.

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Principe de base

Les plasmas uniformes sont généralement traités sur de grandes dimensions et nécessitent le plus souvent une forte assistance ionique. Ils sont essentiels pour les traitements de surface à l'échelle industrielle qui nécessitent des taux de gravure ou de dépôt de plus en plus élevés, comme le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) ou le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (DCAV). gravure profonde.

 

Ces exigences ont stimulé le développement de sources de plasma uniformes, de haute densité, qui, en outre, sont capables de délivrer de fortes concentrations d'espèces réactives.

Pourquoi utiliser nos sources de plasma ?

En outre, pour créer un grand volume de plasma en surmontant la densité critique qui limite la propagation des ondes, il est nécessaire de répartir judicieusement les sources de plasma. Cela ajoute une forte contrainte sur le contrôle de la puissance transmise à chaque source.

 

Pour surmonter ces contraintes, nous avons développé deux sources de plasma auto-adaptables innovantes fonctionnant avec des générateurs à semi-conducteurs de 2,45 GHz : Hi-Wave. La conception innovante de notre source, associée à nos générateurs à l'état solide (algorithme d'auto-adaptation breveté), empêche la perte de puissance à l'intérieur de la source et permet une adaptation automatique dans de larges conditions de fonctionnement sans avoir besoin d'un système d'adaptation d'impédance.

Hi-Wave source de plasma collisionnelle

Hi-Wave est une source de plasma micro-ondes de type collisionnel et peut fonctionner de 10 ^-2 à 1 mbar (1 Pa à 100 Pa). Elle est donc destinée à fonctionner sans aimant dans le régime de collision.

 

Des densités de plasma supérieures à 10 ¹² cm ^-3 peuvent être atteintes en configuration multi-sources avec une distance de travail de 10 cm, pour la plupart des gaz.

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• HI-WAVE

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