La nostra tecnologia a microonde per la generazione di plasma

La tecnologia delle microonde trova continuamente applicazioni in nuovi campi. La generazione di plasma è uno di questi, grazie ai numerosi vantaggi delle microonde: densità di plasma, ioni e specie attive, assenza di elettrodi, funzionamento a pressione.

Potenzialeillimitato

L'eccellente potenziale dei plasmi generati da microonde ha applicazioni in campi hi-tech come l'elettronica, la gioielleria, l'ingegneria medica e l'industria automobilistica, ottica e delle celle solari.

 

Per soddisfare le specifiche sempre più esigenti richieste da tecnologie così sofisticate, SAIREM ha sviluppato una propria gamma di sorgenti e reattori al plasma. Queste fonti sono utilizzate nella generazione di diamanti, ALD, attivazione superficiale DLC, sterilizzazione, sintesi di nano-materiali, abbattimento di gas, ...

Generatorisenza compromessi

L'architettura dei nostri generatori di microonde di ultima generazione è al 100% digitale. Sono stati appositamente sviluppati per supportare cicli di funzionamento di settimane e per fornire uno spettro stabile e stretto, per adattarsi perfettamente alle vostre applicazioni industriali o di R&S.

Sorgenti di plasmainnovative

Le fonti di plasma a microonde sono ben note per le loro prestazioni in termini di creazione di alte densità di specie reattive, ma sono state spesso considerate una seconda scelta data la difficoltà di implementarle nei processi industriali. Tali fonti richiedono spesso un sistema di adattamento dell'impedenza che è difficile da automatizzare.

 

Per superare questi vincoli, abbiamo sviluppato due innovative sorgenti di plasma a microonde che lavorano con generatori a stato solido a 2,45 GHz: Aura-Wave e Hi-Wave. Inoltre queste sorgenti possono essere disposte in matrice per generare grandi superfici di plasma.

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