Nossa tecnologia de microondas para geração de plasma
A tecnologia de micro-ondas está continuamente encontrando aplicações em novos campos. A geração de plasma é uma delas, devido às muitas vantagens das microondas: densidade de plasma, íons e espécies ativas, operação sem eletrodos, faixa de pressão.
Potencialilimitado
O excelente potencial dos plasmas gerados por microondas tem aplicações em campos de alta tecnologia como a eletrônica, joalheria, engenharia médica e as indústrias automotiva, óptica e de células solares.
Para satisfazer as especificações cada vez mais exigentes exigidas por tecnologias tão sofisticadas, a SAIREM desenvolveu a sua própria gama de fontes e reactores de plasma. Estas fontes são utilizadas na geração de diamantes, ALD, ativação de superfície DLC, esterilização, síntese de nano-materiais, redução de gás, ...
Geradoressem compromisso
A arquitectura dos nossos geradores de microondas de última geração é 100 % digital. Eles foram especialmente desenvolvidos para suportar ciclos de funcionamento de semanas e para fornecer um espectro estável e estreito, para se adaptar perfeitamente às suas aplicações industriais ou de P&D.
Fontes de plasmainovadoras
As fontes de plasma de microondas são bem conhecidas pelo seu desempenho em termos de criação de altas densidades de espécies reativas, mas têm sido frequentemente consideradas uma segunda escolha, dada a dificuldade de implementá-las em processos industriais. Tais fontes muitas vezes requerem um sistema de adaptação de impedância que é difícil de automatizar.
Para ultrapassar estas restrições, desenvolvemos duas fontes inovadoras de plasma de microondas de autocomparação trabalhando com geradores de estado sólido de 2,45 GHz: Aura-Wave e Hi-Wave. Além disso, estas fontes podem ser dispostas em matriz para gerar grandes superfícies de plasma.
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