Configurações multi-fonte para superfícies de plasma ilimitadas

Excelente uniformidade de densidade

A tecnologia de fonte de plasma por microondas SAIREM permite superfícies de plasma virtualmente ilimitadas graças às combinações de fontes múltiplas. Os seus arranjos podem ser em linha, circulares, em matriz, ou em 3D, dependendo da sua aplicação.

Graças ao perfeito controlo de potência fornecido por cada fonte, a nossa solução fornece um plasma com excelente uniformidade de densidade (geralmente menos de 5% de variação).

Encontre abaixo alguma medição de uniformidade de Aura-Wave e Hi-Wave fontes de plasma dispostas em matriz. Contacte-nos para obter resultados e detalhes adicionais.

Aura-Wave distribuição matricial

O gráfico mostra a distribuição de densidade simulada e a curva experimental para uma configuração matricial de 25 Aura-Wave com constante de malha a=90 mm realizada a 10 cm do plano da fonte para um plasma de azoto puro a uma pressão de 1 Pa.

O efeito da optimização do poder é claramente visível. As fontes periféricas foram fornecidas com 400 W/fonte, enquanto as 9 fontes centrais foram fornecidas com 75 W/fonte. É atingido um diâmetro de uniformidade maior (370 mm para uma uniformidade de 5%). No entanto, mesmo que a densidade máxima registe uma pequena diminuição, ainda tem um valor muito elevado em torno de 20 × 10 ¹⁰ cm ^-3.

Hi-Wave distribuição matricial

O efeito de aumentar o número e a compacidade das fontes, ou seja, diminuir o parâmetro da malha, é mostrado na figura à direita para um plasma puro de árgon a uma pressão de 2 Pa.

Para uma configuração matricial de 25 fontes Hi-Wave e a = 90 mm a uma distância d = 14 cm do plano das fontes, a potência optimizada é de 400 W para as fontes periféricas e 220 W para as 9 centrais. Uma densidade máxima de cerca de 2 × 10 ¹² cm ^-3 é registada para uma superfície uniforme de 400 mm de diâmetro.