Multi-Source-Konfigurationen für unbegrenzte Plasmaflächen

Ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Dichte

Die SAIREM-Mikrowellenplasmaquellentechnologie ermöglicht dank der Kombination mehrerer Quellen praktisch unbegrenzte Plasmaflächen. Ihre Anordnung kann je nach Anwendung in-line, kreisförmig, in Matrix oder in 3D sein.

Dank der perfekten Leistungssteuerung jeder Quelle liefert unsere Lösung ein Plasma mit hervorragender Dichtegleichmäßigkeit (in der Regel weniger als 5 % Abweichung).

Nachfolgend finden Sie einige Gleichförmigkeitsmessungen von Aura-Wave und Hi-Wave in einer Matrix angeordneten Plasmaquellen. Kontaktieren Sie uns, um weitere Ergebnisse und Details zu erhalten.

Aura-Wave Matrixverteilung

Das Diagramm zeigt die simulierte Dichteverteilung und die experimentelle Kurve für eine Matrixkonfiguration von 25 Aura-Wave mit der Gitterkonstante a=90 mm, die in 10 cm Entfernung von der Quellebene für ein reines Stickstoffplasma bei einem Druck von 1 Pa realisiert wurde.

Der Effekt der Leistungsoptimierung ist deutlich zu erkennen. Die peripheren Quellen wurden mit 400 W/Quelle versorgt, während die 9 zentralen Quellen mit 75 W/Quelle versorgt wurden. Es wird ein größerer Gleichmäßigkeitsdurchmesser erreicht (370 mm für 5 % Gleichmäßigkeit). Auch wenn die maximale Dichte leicht abnimmt, liegt sie immer noch bei einem sehr hohen Wert von 20 × 10 ¹⁰ cm ^-3.

Hi-Wave Matrixverteilung

Die Wirkung einer Erhöhung der Anzahl und der Kompaktheit der Quellen, d. h. einer Verringerung des Gitterparameters, ist in der Abbildung rechts für ein reines Argonplasma bei einem Druck von 2 Pa dargestellt.

Für eine Matrixkonfiguration mit 25 Quellen Hi-Wave und a = 90 mm in einem Abstand d = 14 cm von der Quellenebene beträgt die optimierte Leistung 400 W für die peripheren Quellen und 220 W für die 9 zentralen Quellen. Eine maximale Dichte von etwa 2 × 10 ¹² cm ^-3 wird für eine einheitliche Fläche von 400 mm Durchmesser gemessen.