PE-ALD für Teile mit geringem Wärmebedarf
Unser Kunde benötigte eine Lösung für die Atomlagenabscheidung, um dreidimensionale Teile mit thermischer Belastung zu bearbeiten. Erfahren Sie, wie wir ihm mit unseren Mikrowellenplasmalösungen geholfen haben, vom ALD- zum PE-ALD-Verfahren zu wechseln.