マイクロ波・無線周波数
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お客様は、熱応力のある3次元部品を加工するために、Atomic Layer Depositionのソリューションを必要としていました。当社のマイクロ波プラズマソリューションにより、ALDからPE-ALDプロセスへの移行をどのように支援したかをご覧ください。
Aura-wave とHi-wave のマイクロ波プラズマソースでは、インライン、円形、マトリクス、3Dなど、無限の組み合わせが可能です。
研究室で栽培されたダイヤモンド業界の大手企業であるお客様は、MWプラズマ発生装置の信頼性に関して高い期待を寄せています ...