Multi-bronconfiguraties voor onbeperkte plasmaoppervlakken

Uitstekende gelijkmatigheidvan de dichtheid

SAIREM microgolf-plasmabrontechnologie maakt vrijwel onbeperkte plasmaoppervlakken mogelijk dankzij de combinaties van meerdere bronnen. Hun opstelling kan in-line, cirkelvormig, in matrix of in 3D zijn, afhankelijk van uw toepassing.

Dankzij de perfecte vermogensregeling die door elke bron wordt geleverd, levert onze oplossing een plasma met een uitstekende uniformiteit in dichtheid (gewoonlijk minder dan 5% variatie).

Hieronder vindt u enkele uniformiteitsmetingen van Aura-Wave en Hi-Wave plasmabronnen gerangschikt in matrix. Neem contact met ons op voor aanvullende resultaten en details.

Aura-Wave matrixverdeling

De grafiek toont de gesimuleerde dichtheidsverdeling en de experimentele kromme voor een matrixconfiguratie van 25 Aura-Wave met roosterconstante a=90 mm gerealiseerd op 10 cm van het bronvlak voor een zuiver stikstofplasma bij een druk van 1 Pa.

Het effect van optimalisatie van het vermogen is duidelijk te zien. De perifere bronnen werden gevoed met 400 W/bron, terwijl de 9 centrale bronnen werden gevoed met 75 W/bron. Er wordt een grotere uniformiteitsdiameter bereikt (370 mm voor 5% uniformiteit). Maar zelfs als de maximale dichtheid een kleine daling vertoont, heeft deze nog steeds een zeer hoge waarde rond 20 × 10 ¹⁰ cm ^-3.

Hi-Wave matrixverdeling

Het effect van een verhoging van het aantal en de compactheid van de bronnen, d.w.z. een verlaging van de roosterparameter, wordt in de figuur rechts getoond voor een zuiver argonplasma bij een druk van 2 Pa.

Voor een matrixconfiguratie van 25 Hi-Wave bronnen en a = 90 mm op een afstand d = 14 cm van het bronvlak is het geoptimaliseerde vermogen 400 W voor de perifere bronnen en 220 W voor de 9 centrale bronnen. Een maximale dichtheid van ongeveer 2 × 10 ¹² cm ^-3 wordt geregistreerd voor een uniform oppervlak met een diameter van 400 mm.