我们的微波等离子体生成技术

潜力无限

微波产生的等离子体的卓越潜力在电子、珠宝、医疗工程以及汽车、光学和太阳能电池等高科技领域都有应用。

为了满足这些尖端技术越来越高的要求，赛尔姆开发了自己的等离子体源和反应器系列，这些等离子体源用于金刚石生成、ALD、DLC表面活化、灭菌、纳米材料合成、气体消解等领域。这些等离子体源可用于金刚石生成、ALD、DLC表面活化、灭菌、纳米材料合成、气体消融等领域。

毫不妥协的发电机

我们最新一代的微波发生器的结构是100％的数字。它们经过特别开发，可支持长达数周的运行周期，并提供稳定的窄频谱，以完美满足您的工业或研发应用。

创新的等离子体源

微波等离子体源在产生高密度反应性物种方面的性能是众所周知的，但由于在工业过程中难以实施，所以往往被认为是第二选择。这种源往往需要一个难以自动化的阻抗适应系统。

为了克服这些限制，我们已经开发了两个创新的自匹配微波等离子体源，与2,45GHz的固态发生器一起工作。Aura-Wave 和Hi-Wave 。此外，这些源可以被排列成矩阵，以产生大的等离子体表面。